SPS：方脉冲热源法测量仪

在微米及更小尺度下，材料的热传导和能量传递机制发生显著变化，尤其是热导率、比热容和界面热阻等热物性参数的变化，这对新材料的热管理和性能优化提出了更高的要求。随着薄膜材料和小尺寸组件在微电子、半导体、光电器件及能源领域的广泛应用，精确测量这些材料的热物性变得尤为重要。然而，传统的宏观尺度热物性测量方法难以有效应用于这些微纳米尺度的材料。

方脉冲热源法（Square-Pulsed Source method, SPS）采用激光的泵浦-探测技术，待测的样品表面镀有约100 nm厚的金属膜作为温度传感层，泵浦激光经过50%占空比的方波调制后聚焦在样品表面，对其进行周期性加热；探测激光一部分作为参考信号直接进入平衡光电探测器，另一部分聚焦在样品表面加热样品和探测表面温度。在温升低于10 K的情况下，金属膜反射率与温度变化呈线性关系。样品表面金属膜反射激光的光强变化通过光电探测器转换为电信号，并传输给周期波形分析仪（PWA），以获得方波加热周期下样品表面温度变化的幅值响应信号，幅值信号经归一化处理并与传热模型佳拟合，从而获取样品的热物性参数。

7、自动化信号分析处理，可同时拟合多组信号获取多个参数，并计算测量误差