Pioneer-ONE TDTR系统助力探索退火温度对脉冲激光沉积法生长Ga₂O₃/金刚石复合基板界面热传导的影响
在这项研究中,钻石复合基板由约180nm厚的AlN过渡层和约300μm厚的钻石基底组成。研究重点分析了退火过程对Ga₂O₃薄膜的微观结构、缺陷浓度以及热传导特性的影响。研究发现,随着退火温度的提高,Ga₂O₃薄膜的结晶度得到显著提高,氧空位缺陷从20.6%降低到9.9%。然而,退火温度过高(超过800℃)时,Ga₂O₃/钻石界面热边界传导(TBC)却出现下降趋势,表明过高的退火温度会导致界面区域出现无定型层或不规则混合,进而阻碍界面热传输。
为定量分析热导率(κ)和界面热传导性,研究使用了AUTINST Pioneer-01时域热反射(TDTR)系统,该系统能够高精度测量材料的热导率及热边界传导特性。TDTR技术通过激光脉冲加热样品表面,再通过探测反射信号的时延和幅度,精确测量热传导特性。实验结果表明,退火温度在600℃至700℃之间时,Ga₂O₃的热导率和界面热传导性均有显著提高,且在700℃时达到佳状态。